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微纳电子技术 2017年第08期杂志 文档列表

InGaN基LED中极化效应对发光特性的影响第509-513页

关键词: ingan；  电致发光；  峰位；  相对外量子效率；  极化效应；  俄歇复合；  

聚硅氮烷旋涂介电材料研究进展第514-521页

关键词: 聚硅氮烷；  旋涂介电层；  二氧化硅；  微电子；  

喷墨打印C8-BTBT薄膜中的衬底效应及其OTFT器件第522-527页

关键词: 喷墨打印；  2；  衬底效应；  迁移率；  

用于促黄体生成素快速检测的电化学免疫传感器第528-532页

关键词: 电化学免疫传感器；  纸基免疫传感器；  丝网印刷；  快速；  高灵敏度；  

一种MEMS陀螺仪温度漂移误差补偿方法第533-538页

关键词: 惯性测量；  三轴陀螺仪；  温度漂移；  误差补偿；  

直流辉光放电对石墨烯氮掺杂的制备与特性第539-546页

关键词: 直流辉光放电；  氮掺杂石墨烯；  等离子体；  多物理场耦合分析；  

中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第546-页

基于SEM图像的自动对焦技术第547-552页

关键词: 自动对焦；  评价函数；  显著区；  

多层铜布线CMP后BTA去除和铜表面腐蚀抑制第553-557页

关键词: 铜腐蚀；  螯合剂；  表面活性剂；  

一种改进的穿硅电容三维互连技术第558-564页

关键词: 三维互连；  

石墨烯湿法转移过程工艺优化第565-569页

关键词: 石墨烯；  湿法转移；  刻蚀；  涂胶；  超声处理；  

深度等离子体反应刻蚀技术制备擒纵机构第570-573页

关键词: 单晶硅；  深度等离子体反应刻蚀；  擒纵机构；  微机械加工；  光刻；  

镀Ni超细孔径多孔阳极氧化铝模板的合成和特性第574-579页

关键词: 结构色；  磁性能；  薄膜；  光学性能；  磁记录；  

征稿通知 第12届国际专用集成电路会议第580-页