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微纳电子技术 2017年第09期杂志 文档列表

微纳电子技术杂志器件与技术

一种基于绝缘体上Ge的碰撞电离晶体管第581-584页

关键词: 雪崩击穿；  阈值电压；  亚阈值摆幅；  

微纳电子技术杂志材料与结构

石墨烯对多孔硅光学性能的影响第585-590页

关键词: 石墨烯；  多孔硅；  电流密度；  复合材料；  光致发光；  

可延展柔性电子基底微观分析第591-596页

关键词: 可延展电子；  柔性电子；  分子动力学模拟；  纳米粒子；  

微纳电子技术杂志MEMS与传感器

MOEMS集成波长选择开关的设计及研究第597-604页

关键词: 波分复用；  波长选择开关；  光通信；  电磁驱动；  

核磁共振陀螺仪研究进展第605-611页

关键词: 原子自旋；  原子陀螺；  微陀螺仪；  量子原理；  

磁致伸缩振动能量采集器的研究进展第612-620页

关键词: 磁致伸缩；  振动；  能量采集；  直驱式；  悬臂梁；  

热边界层发展对微通道中纳米流体传热的影响第621-626页

关键词: 微通道；  纳米流体；  入口效应；  热边界层；  强化传热；  

微纳电子技术杂志加工、测量与设备

氧化钨纳米纤维的制备及其对H2S的气敏特性第627-632页

关键词: 静电纺丝法；  wo3纳米纤维；  气体传感器；  气敏特性；  h2s；  

基于梳齿式电容加速度计的深硅刻蚀第633-638页

关键词: 深硅刻蚀；  梳齿结构；  刻蚀速率；  垂直度；  选择比；  均匀性；  

CMP中TEOS去除速率的一致性第639-644页

关键词: 非离子型表面活性剂；  去除速率一致性；  

高深宽比石英结构的NLD刻蚀第645-649页

关键词: 石英；  高深宽比；  刻蚀；