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微纳电子技术 2017年第10期杂志 文档列表

基于天线优化的GaN/AlGaNHEMT太赫兹探测器第653-657页

关键词: 探测器；  太赫兹；  自混频；  

基于石墨烯电极的电子转移动力学的研究进展第658-663页

关键词: 石墨烯；  电子转移；  边缘；  基平面；  缺陷密度；  

范德瓦尔斯异质结的研究进展第664-670页

关键词: 范德瓦尔斯异质结；  二维材料；  石墨烯；  硫化钼；  硒化钼；  

声表面波驱动的微混合器第671-676页

关键词: 剥离工艺；  叉指结构；  微混合器；  液滴；  

高灵敏度宽频带一维MEMS矢量水听器第677-683页

关键词: 压阻传感器；  一维探测；  ansys；  共振频率；  

电容式柔性触觉传感器的研究与进展第684-693页

关键词: 触觉传感器；  柔性；  微电容；  电极；  介质材料；  灵敏度；  

基于介电电泳的粒子分离微流控芯片实验第694-698页

关键词: 微流控芯片；  连续分离；  惯性聚焦；  介电电泳；  comsol；  

电极和匀气盘结构对PECVD氮化硅薄膜性能的影响第699-705页

关键词: 氮化硅薄膜；  残余应力；  电极结构；  koh腐蚀；  

磁场辅助静电纺丝制备Fe3O4/PVA纳米纤维第706-709页

关键词: 静电纺丝；  磁场；  纳米纤维；  泰勒锥；  纳米颗粒；  

CMP后清洗中非离子表面活性剂对Cu表面状态的影响第710-714页

关键词: 非离子表面活性剂；  碱性清洗剂；  表面张力；  表面粗糙度；  

抛光垫使用寿命对铜CMP平均去除速率一致性的影响第715-719页

关键词: 抛光垫；  使用寿命；  平均去除速率一致性；  同步在线修整；  

MEMS用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响第720-724页

关键词: 硅单晶；  各向异性腐蚀；  氧杂质浓度；  微缺陷；  氧沉淀；  

中国电子科技集团公司第十三研究所激光器产品推介第725-727页

第三届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会第一轮会议通知第728-页